利用饱和吸收技术对KrF激光脉冲前沿削波的研究
INVESTIGATION ON CHOPPING RISING EDGE OF KrF LASER PULSE USING SATURABLE ABSORPTION
摘 要
Abstract
目 录
第1章 绪论
1.1 课题背景
1.2 本课题的目的和意义
1.3 国内外研究进展
1.4 本论文主要研究内容
第2章 饱和吸收技术基本理论
2.1 饱和吸收基本理论
2.2 饱和吸收体的特性
2.3 本章小结
第3章 KrF激光脉冲前沿削波的数值计算
3.1 建立长脉冲的饱和吸收模型
3.2 数值模拟计算
3.3 本章小结
第4章 KrF激光脉冲前沿削波的实验研究
4.1 实验方案
4.2 实验结果与分析
4.3 本章小结
结论
参考文献
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致谢