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目录
第1章 绪 论
1.1 课题来源及研究的背景和意义
1.2 国内外在该方向的研究现状及分析
1.3 课题主要研究内容
第2章 掠角沉积分子动力学仿真系统的建立及仿真结构分析方法
2.1 引言
2.2 分子动力学方法简述
2.3 掠角沉积分子动力学仿真系统的初步建立
2.4 掠角沉积分子动力学仿真系统合理性讨论
2.5 掠角沉积分子动力学仿真结构分析方法
2.6 本章小结
第3章 平面基体掠角沉积的分子动力学仿真
3.1 引言
3.2 掠角沉积过程中的沉积原子运动方式
3.3 掠角沉积结构沉积初期生长机理
3.4 沉积入射角对平面基体掠角沉积初期结构的影响
3.5 平面基体掠角沉积形核机理
3.6 本章小结
第4章 预置结构基体掠角沉积的分子动力学仿真
4.1 引言
4.2 单一预置结构基体上的掠角沉积过程
4.3 阵列预置结构基体上掠角沉积结构的初步分析
4.4 本章小结
第5章 掠角沉积实验研究
5.1 引言
5.2 基于电子束蒸发沉积系统的掠角沉积平台的搭建
5.3 掠角沉积实验及表征方法
5.4 掠角沉积实验结果及分析
5.5 本章小结
结论
参考文献
攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果
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致谢