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目录
第1章 绪 论
1.1 课题来源及研究目的和意义
1.2 国内外研究现状
1.3 本文主要研究内容
第2章 光刻机精密运动平台结构及功能
2.1 引言
2.2 扫描光刻机整体结构及功能介绍
2.3工件台结构和功能分析
2.4 本章小结
第3章 高阶闭环迭代学习控制策略
3.1 引言
3.2 迭代学习控制可行性分析
3.3 闭环PID迭代学习控制
3.4 高阶闭环迭代学习控制
3.5 本章小结
第4章 带遗忘因子的高阶闭环迭代学习控制
4.1 引言
4.2 带遗忘因子的迭代学习控制
4.3 带遗忘因子的高阶闭环迭代学习控制仿真
4.4 改进型遗忘因子高阶闭环迭代学习控制
4.5 本章小结
第5章 迭代学习控制策略的实验设计与分析
5.1 引言
5.2 基于迭代学习的步进扫描曝光控制设计
5.3 基于迭代学习的旋转换台控制设计
5.4 迭代学习控制实验结果分析
5.5 本章小结
结论
参考文献
攻读硕士期间发表的学术论文
声明
致谢