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目录
第1章 绪 论
1.1 课题背景与意义
1.2 国内外研究现状
1.3 主要研究内容
第2章 ΣΔ电容式加速度计工作原理
2.1 引言
2.2 敏感结构数学模型
2.3 前端信号检测原理
2.4 ΣΔ电容式加速度计工作原理
2.5ΣΔ调制器原理
2.6 本章小结
第3章 加速度计系统级分析及建模
3.1 引言
3.2 加速度计系统工作原理
3.3 敏感结构离散化分析
3.4 系统噪声分析
3.5 系统非线性分析
3.6 加速度计系统级设计
3.7 本章小结
第4章 ΣΔ微加速度计接口ASIC设计
4.1 引言
4.2 机械结构电学模型
4.3 接口电路设计
4.4 加速度计系统仿真
4.5 版图设计
4.6 本章小结
结论
参考文献
声明
致谢