带谐波失真自检功能的高阶Σ-Δ闭环加速度计接口电路

摘要

带谐波失真自检功能的高阶Σ-Δ闭环加速度计接口电路，属于MEMS惯性器件领域，本发明为解决目前的加速度计接口电路自检功能主要实现模拟输出的加速度计接口电路的自检测，而无法实现直接数字输出的闭环高阶Σ-Δ加速度计接口电路谐波失真自检测的问题。本发明包括加速度计敏感结构、电荷电压转换器、前级放大器、相关双采样与采样保持单元、相位补偿器、自检测单元、第一级积分器、第二级积分器、求和单元、第三级积分器和比较器，通过自检测单元的开关选择工作状态。当处于自检测状态时，自检测单元输出等效的加速度信号，实现自检测功能。当处于检测外界加速度信号的工作状态时，质量块偏离平衡位置，输出电荷信号，实现检测外界加速度信号功能。