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摘 要
Abstract
目 录
第1章 绪 论
1.1 引言
1.2 相变材料GST 研究现状
1.2.1 相变机制及物相结构研究
1.2.2 在光学信息存储方面的应用
1.2.3 激光诱导GST结晶
1.2.4 GST在微结构调控中的应用
1.3 本论文主要研究内容
第2章 GST薄膜的制备与性质表征
2.1 引言
2.2 射频磁控溅射制备GST薄膜
2.3 GST薄膜加热结晶及XRD表征
2.4 非晶态和晶态GST薄膜的光学性质测量
2.5 本章小结
第3章 激光加热GST结晶过程分析
3.1 引言
3.2 激光诱导GST 结晶
3.2.1 激光诱导GST 结晶的实验研究
3.2.2 激光直写系统介绍
3.3 激光加热薄膜的数值模拟
3.4 本章小结
第4章 GST微结构的制备及其光学性质研究
4.1 引言
4.2 GST 光栅结构的制备及其衍射特性
4.2.1 GST 光栅制备及AFM 表征
4.2.2 GST 光栅衍射理论分析
4.2.3 GST 光栅衍射实验结果
4.3 GST 波带片结构的制备及其聚焦特性
4.4 本章小结
结 论
参考文献
哈尔滨工业大学学位论文原创性声明和使用权限
致 谢
哈尔滨工业大学;
