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纳米线定向自组装及互连制备阵列分布ZnO/SiC异质结研究

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摘 要

Abstract

第1章 绪 论

1.1 课题背景及研究目的

1.2 国内外研究现状

1.2.1 ZnO纳米器件研究现状

1.2.3 纳米线自组装

1.2.4 纳米线连接的研究

1.3本文主要研究内容

第2章 实验材料及方法

2.1.1 ZnO纳米线的制备

2.1.2 SiC纳米线的制备与表征

2.1.3 纳米线网络的自组装

2.1.4 ZnO和SiC纳米线的焊接

2.2 分析测试方法

图2-13 形貌表征设备

a)卡尔蔡司扫描电镜,b) 600i扫描电镜

图2-14 X射线衍射物相检测仪(XRD)

图2-15 NETZSCH STA499热分析仪

2.3 本章小结

第3章 ZnO纳米线的制备

3.1 细小针状ZnO纳米线的制备

3.1.1 OH-/Zn2+比例对ZnO纳米线形貌的影响

3.1.2 加热温度对ZnO纳米线形貌的影响

3.1.3 加热时间对于ZnO纳米线形貌的影响

3.2 超长ZnO纳米线的制备

3.2.1 Na2C2O4溶液浓度及温度对ZnO纳米线形貌的影响

3.2.2 加热时间对ZnO纳米线形貌的影响

3.3 探究各参数对于纳米线形貌的影响

3.3.1 各参数对于纳米线直径的影响

3.3.2 各参数对于纳米线平均长度的影响

3.3.3 各参数对于纳米线长径比的影响

3.4 本章小结

第4章 纳米线自组装

4.1 纳米线自组装原理

图4-1 印模印刷法过程和原理示意图[53]

4.2 各参数对于自组装效果的影响

图4-2 没有PLL处理的石英玻璃基板的排列效果图

a) 沟道宽度为16.38 μm, b) 沟道宽度为10.34 μm, c) 沟道宽度为6.74 μm印模的印刷效果

a) 沟道宽度为16.38 μm,b) 沟道宽度为10.34 μm,c) 沟道宽度为6.74 μm

a) 沟道宽度为16.38 μm,b) 沟道宽度为10.34 μm,c) 沟道宽度为6.74 μm

a) 沟道宽度为16.38 μm,b) 沟道宽度为10.34 μm,c)沟道宽度为6.74 μm

a) 沟道宽度为16.38 μm,b) 沟道宽度为10.34 μm,c) 沟道宽度为6.74 μm

4.3 垂直排列方法探究

图4-9 两次都是0.2%的PLL进行处理排列相互垂直的纳米线效果图

图4-10 第一层用0.2%的PLL处理,第二层用0.1%的PLL处理两次排列效果图

图4-11 第一层用0.1%的PLL处理,第二层用0.2%的PLL处理两次排列效果图

4.4 本章小结

第5章 ZnO纳米线的互连和异质结的制备

5.1 ZnO纳米线激光加热连接

图5-2 不同功率激光加热连接后的试样实物图

5.2 ZnO纳米线电磁加热连接

a) 加热时间为30 s,b) 加热时间为1 min,c) 加热时间为2 min

5.3.1 温度和压力对焊接效果的影响

5.3.2 焊接时间对于纳米线连接效果的影响

5.3.2 SiC基板上ZnO纳米线互连

5.4 ZnO与SiC互连结果

a) 压力为0 kPa,b) 压力为5 kPa,c) 压力为20 kPa

a) 压力为0 kPa,b) 压力为5 kPa,c) 压力为20 kPa

图5-17 ZnO/SiC互连SEM图中a), b), c), d)四点的EDS能谱

5.5 焊接形成ZnO纳米线网络方法探究

5.5.1 与基板预连接后排列方法探究

5.5.2 分别排列单层纳米线垂直对压焊接方法探究

5.6 纳米线互连机理分析

5.6.1 ZnO和ZnO纳米线互连机理

5.6.2 ZnO纳米线和SiC纳米线互连机理探究

5.7 焊接前后光致发光的测定

5.7.1 ZnO纳米线焊接前后光致发光光谱

5.7.2 ZnO纳米线和SiC基板焊接前后光致发光光谱

5.8 本章小结

结 论

参考文献

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致 谢

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