声明
摘要
1 绪论
1．1气体传感器的概述
1．1．1氢气传感器的研究背景
1．1．2半导体气体传感器的研究进展
1．2金属氧化物半导体氢气传感器
1．2．1金属氧化物半导体氢气传感器的材料和结构
1．2．2金属氧化物半导体氢气传感器的工作原理
1．2．3金属氧化物半导体氢气传感器的性能参数
1．3 TiO2和CeO2纳米材料
1．3．2 TiO2纳米材料的应用
1．3．3 CeO2的晶体结构
1．3．4 CeO2纳米材料的应用
1．4氢敏材料的制备方法
1．4．1溶胶-凝胶法
1．4．2磁控溅射
1．4．3化学气相沉积
1．4．4静电纺丝技术
1．4．5水热法
1．5 TiO2与CeO2纳米材料在气敏应用中的问题及对策
1．6本课题的研究目的与意义
2实验部分
2．1实验试剂及仪器
2．1．1化学试剂
2．1．2实验仪器
2．2表征方法
2．2．2 X射线光电子能谱(XPS)
2．2．3扫描电子显微镜(SEM)
2．2．4透射电子显微镜(TEM)
2．2．5 比表面积与孔分布(BET)
2．2．6氢敏性能测试
3 Pd修饰TiO2纳米颗粒氢气传感器的性能研究
3．1 引言
3．2实验过程
3．2．2 Pd修饰锐钛矿TiO2纳米颗粒气体传感器件的制备
3．3．1相结构与形貌研究
3．3．2比表面积与孑L分布分析
3．3．3氢敏性能分析
3．3．4氢敏机理分析
3．4本章小结
4 Ag纳米颗粒@TiO2纳米片的制备及氢敏性能研究
4．1 引言
4．2实验过程
4．2．2 Ag纳米颗粒@TiO2纳米片气体传感器件的制备
4．3．1组成与微观结构研究
4．3．2比表面积与孔分布分析
4．3．3氢敏性能分析
4．3．4氢敏机理分析
4．4本章小结
5低温响应的Pd修饰TiO2@CeO2纳米棒氢气传感器研究
5．1 引言
5．2实验过程
5．2．2 Pd修饰TiO2@CeO2纳米棒复合材料的制备
5．3．1相结构和形貌研究
5．3．2氢敏性能分析
5．3．3氢敏机理分析
5．4本章小结
6结论与展望
6．1 结论
6．2展望
参考文献
个人简历及在学期间的研究成果
致谢
