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目录
第一章 绪论
§1-1 研究背景
§1-2 研究现状
§1-3 论文研究目的及内容安排
第二章 透明导电氧化物薄膜
§2-1 透明导电氧化物薄膜的特性及其作用
§2-2 透明导电氧化物薄膜的种类及其特点
§2-4 氧化锌铝薄膜的研究进展
§2-5 氧化锌铝薄膜的优势
第三章 实验设备及其测试仪器设备简介
§3-1 溅射仪器设备
§3-2 薄膜性能测试仪器设备
第四章 工艺条件对ZAO薄膜结构与光电性能的影响
§4-1 引言
§4-2 ZAO薄膜的结构性能及其讨论
§4-3 ZAO薄膜的电学性能及其讨论
§4-4 ZAO薄膜的光学性能及其讨论
§4-5 工作压力对ZAO薄膜稳定性的影响
§4-6 本章小结
第五章 绒面ZAO薄膜的研究
§5-1 衬底温度对绒面ZAO薄膜的影响
§5-2 工作压力对绒面ZAO薄膜的影响
§5-3 本章小结
第六章 结论
§6-1 对ZAO薄膜的总结
§6-2 本文的研究成果及不足
参考文献
致谢
攻读学位期间所取得的相关科研成果
河北工业大学;