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第1章绪论
1.1发展太阳能光电转换的意义
1.2硅太阳电池研究背景
1.2.1太阳电池研究历史、现状与趋势
1.2.2具代表性太阳电池的研究状况
1.3光伏能源产业化浪潮
1.2.1国际光伏产业发展状况
1.2.2经济性预测
1.2.3中国光伏研究与产业特点
1.4立题思路与目标
1.4.1效率与成本问题
1.4.2思路与目标
参考文献
第2章基本理论与研究方法
2.1晶态硅材料基本理论
2.1.1光学性质和电输运
2.1.2非线性性质和强电输运
2.1.3半导体中的浅杂质和深杂质——工艺和物理相关性
2.1.4晶界的电特性
2.2氢化非晶硅的材料特性
2.2.1分子结构和电子态
2.2.2缺陷平衡和亚稳态性
2.3硅薄膜太阳电池
2.3.1太阳电池结构
2.3.2太阳电池工作原理
2.3.3理论转换效率
参考文献
第3章颗粒硅带的制备和表征
3.1硅材料制备技术概述
3.2颗粒硅带技术关键问题
3.2.1工艺原理及特点
3.2.2热场分布对半定边材料的影响
3.2.3表面平整度的解决方法
3.3正交法判定硅带制备显著性影响因素
3.3.1正交表的统计分析
3.3.2因素的交互作用
3.3.3优选结果
3.4颗粒硅带特性及表征
3.4.1导电类型和电阻率
3.4.2SEM形貌特征
3.4.3金相显微镜缺陷观察
3.4.4XRD谱
3.4.5AES谱
3.4.6XPS谱
3.5小结
参考文献
第4章薄膜物理及薄膜的化学气相沉积
4.1快热化学气相沉积多晶硅薄膜
4.1.1快热化学气相沉积系统
4.1.2工艺参数
4.2多晶硅薄膜典型特征的研究
4.2.1电性能
4.2.2形貌
4.2.3X射线双晶衍射
4.3等离子化学气相沉积氢化微晶硅薄膜
4.3.1薄膜等离子增强化学气相沉积基础
4.3.2大面积等离子增强化学气相沉积设备
4.3.3氢化微晶硅薄膜的制备
4.4氢化微晶硅薄膜特性表征与研究
4.4.1直流电阻率
4.4.2薄层电阻及分布
4.4.3椭偏光谱扫描
4.4.4IR及光谱分析
4.4.5FTIR
4.4.6拉曼光谱
4.4.7ESEM
4.4.8微晶硅薄膜激活能
4.4.9微晶硅薄膜能带结构研究
4.5掺硼氢化微晶硅薄膜的实验结果及讨论
4.5.1工艺参数及实验结果对照
4.5.2TMB流量比的影响
4.5.3SiH4流量比与晶化度
4.5.4厚度对薄膜结构和性能的影响
4.5.5温度的影响
4.5.6反应室总压的影响
4.5.7大面积沉积均匀性
4.6掺磷氢化微晶硅薄膜的实验结果及讨论
4.6.1温度的影响
4.6.2磷铵流量比的影响
4.7小结
参考文献
第5章颗粒硅带衬底上的多晶硅薄膜太阳电池
5.1器件结构和工艺流程
5.2器件特性
5.2.1IV特性和光谱响应
5.2.2缺陷和复合
5.3PC1D
5.4小结
参考文献
第6章P-I-N结构微晶硅薄膜太阳电池
6.1TCO玻璃上的pin太阳电池
6.1.1器件结构设计
6.1.2工艺流程
6.1.3暗特性
6.1.4 I-V特性和光谱响应
6.2颗粒硅带衬底上的pin结构微晶硅薄膜太阳电池
6.2.1器件结构设计
6.2.2工艺流程
6.2.3I-V特性
第7章结论
附录
论文的插图索引
论文的表格索引
标准硅粉末样品衍射信息
攻读博士学位期间发表论文情况
致谢
论文原创性声明