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第一章 绪论
1.1引言
1.2微位移平台国内外研究现状
1.2.1微位移平台的系统组成
1.2.2基于压电陶瓷驱动的微位移平台
1.2.3压电陶瓷驱动器的控制方法
1.3微位移平台的主要应用领域
1.4本课题的研究意义及论文的主要内容
1.4.1本课题的研究意义
1.4.2论文的主要内容
第二章平面三自由度微位移平台的优化设计
2.1引言
2.2柔顺机构的建模方法
2.2.1伪刚体模型法
2.2.2有限元法
2.3直角正圆型柔性铰链的刚度方程
2.4平面三自由度微位移平台的结构优化设计
2.4.1几何模型
2.4.2理论分析
2.4.3优化设计
2.4.4优化结果
2.5平台的仿真分析
2.6本章小结
第三章平面三自由度微位移平台动力学和静力学研究
3.1引言
3.2平台的动力学研究
3.2.1动力学方程的建立
3.2.2理论模型试验验证
3.2.3输入调理策略与讨论
3.3压电陶瓷驱动器控制方法
3.4静力学试验测试
3.5试验修正方法
3.6本章小结
第四章输入耦合研究
4.1引言
4.2三自由度微位移平台的输入耦合问题
4.2.1输入耦合分析
4.2.2结构参数对输入耦合的影响
4.3考虑输入耦合的平台优化设计方法
4.4低输入耦合平台的优化设计
4.4.1优化设计
4.4.2仿真研究
4.4.3试验研究
4.4本章小结
第五章空间三自由度微位移平台的研究
5.1引言
5.2空间三自由度微位移平台的优化设计
5.2.1平台的几何模型
5.2.2空间柔性铰链的刚度模型
5.2.3平台的优化设计
5.2.4微动平台的位置分析
5.3试验研究
5.4本章小结
第六章低成本微位移平台的设计
6.1引言
6.2低成本平动微位移平台设计
6.2.1设计方法
6.2.2平板弹簧
6.2.3平台主体结构
6.2.4平台的有限元分析模型
6.2.5误差分析传递
6.2.6试验研究
6.3低成本旋转微位移平台设计
6.4本章小结
结论
1.主要工作和结论
2.创新点
3.展望与设想
参考文献
附录
攻读博士学位期间取得的研究成果
致谢