第一章 绪 论
1.1微细电解加工的应用及其发展趋势
1.2微细加工技术的研究现状
1.2.1超精密机械微细加工
1.2.2微细电火花加工技术
1.2.3微细电铸加工技术
1.2.4约束刻蚀剂层技术
1.2.5掩模电解加工技术
1.3电解加工的仿真研究现状
1.3.1阳极工件形貌仿真研究现状
1.3.2加工过程多相流模拟现状
1.3.3其他因素对工件形貌的影响
1.4课题研究的意义及内容
1.5本章小结
第二章 微细电解加工过程的理论研究
2.1微细电解加工过程中的电场分析
2.1.1法拉第定律
2.1.2微细电解加工过程中的电势分析
2.2微细电解加工的电极过程动力学
2.2.1 双电层及其结构
2.2.2电化学极化过程分析
2.2.3双电层对加工中电极极化的影响
2.2.4电解液中离子传质过程
2.3微细电解加工过程中的气体产生原理
2.3.1单气泡成核过程分析
2.3.2单气泡在电极表面长大、脱离至浮出水面的过程分析
2.3.3多气泡的气液两相流
2.4本章小结
第三章 高频脉冲下微织构加工过程的模拟
3.1阳极表面双电层的模拟
3.1.1模型及边界条件
3.1.2双电层电位分析
3.1.3电解液中离子浓度分析
3.2.2不同双电层对电位的影响
3.2高频脉冲下微织构电解加工过程模拟
3.2.1二维梳状形模型
3.2.2边界条件及控制方程
3.2.3不同脉冲频率下的轮廓分析
3.2.4稳态过程中的电场和电流密度分析
3.3梳状形成型阴极电解加工过程的三维模拟
3.3.1三维电解加工模型
3.3.2边界条件及仿真参数
3.3.3表面形貌分析
3.3.4阵列结构的边缘效应
3.3.5截面上的电流密度和电场强度分析
3.4本章小结
第四章 微织构加工过程观测实验
4.1实心圆棒电极加工过程的观测实验
4.1.1实心圆棒电极加工的实验装置
4.1.2实验步骤及参数
4.1.3阴极侧壁单气泡的增长分析
4.1.4阴极底部气泡分析
4.1.5氧气泡生成分析
4.2微织构加工过程中的侧面观测实验
4.2.1微织构侧面观测实验装置
4.2.2实验步骤及参数
4.2.3侧面观测实验结果分析
4.3.1微织构正面观测实验装置
4.3.2实验步骤及参数
4.3.3正面观测实验结果分析
4.4本章小结
第五章 两相流和电场的耦合仿真
5.1实心圆棒电极加工时流场与电场的耦合仿真
5.1.1控制方程
5.1.2仿真模型
5.1.3边界条件及参数
5.1.4网格分析
5.1.5气泡动态过程对电场的影响
5.2微织构加工过程流场与电场的耦合仿真
5.2.1微织构仿真模型
5.2.2边界条件及参数
5.2.3气泡动态过程对电流密度的影响
5.2.4静液加工时阳极边界电流密度分析
5.2.5不同流速下阳极边界电流密度分析
5.3本章小结
总结与展望
参考文献
攻读硕士学位期间的科研成果
声明
致谢
附录
