AlCrN/AlTiSiN纳米多层刀具涂层的制备及其性能研究

目录

摘要

第一章绪论

1．1课题研究背景及其意义

1．2刀具涂层及沉积技术

1．2．1化学气相沉积

1．2．2物理气相沉积

1．3耐磨硬质涂层研究进展

1．3．1多组元涂层研究

1．3．2纳米复合涂层研究

1．3．3纳米多层涂层研究

1．4硬质涂层刀具研究现状

1．5 AlCrN和AlTiSiN涂层研究进展

1．5．1 AlCrN涂层研究

1．5．2 AlTiSiN涂层研究

1．6课题来源及主要研究内容

1．6．1课题来源

1．6．2选题背景

1．6．3研究内容

第二章涂层工艺和分析方法

2．1涂层制备过程

2．1．2沉积工艺

2．2涂层结构性能表征

2．2．1 X射线衍射

2．2．2扫描电子显微镜(SEM)

2．2．3纳米压痕测试

2．2．4划痕测试

2．3性能测试

2．3．2摩擦磨损测试

2．3．3切削实验

第三章涂层制备技术

3．1 AlCrN涂层制备参数优化

3．1．1基体偏压对AlCrN涂层性能影响

3．1．2氮气流量对AlCrN涂层性能的影响

3．2 AlTiSiN涂层制备的参数优化

3．2．1基体偏压对AlTiSiN涂层性能的影响

3．2．2氮气流量对AlTiSiN涂层性能的影响

3．3 AlCrN／AlTiSiN多层涂层制备参数优化

3．3．1基体偏压对AlCrN／AlTiSiN多层涂层的影响

3．3．2氮气流量对AlCrN／AlTiSiN多层涂层的影响

3．3．3调制周期对AlCrN／AlTiSiN多层涂层的影响

3．3．4调制比对AlCrN／AlTiSiN多层涂层的影响

3．4本章小结

第四章AlCrN／AlTiSiN多层涂层高温性能研究

4．1涂层热稳定性

4．2涂层抗氧化性

4．3本章小结

第五章AlCrN／AlTiSiN多层涂层磨擦损性能研究

5．1涂层摩擦磨损性能研究

5．1．1涂层摩擦学行为

5．1．2涂层摩擦形貌与磨损机理

5．2涂层抗磨机理

5．3本章小结

第六章AlCrN／AlTiSiN多层涂层刀具切削模具钢SKD11性能研究

6．1．1刀具切削力

6．1．2刀具切削温度

6．1．3工件表面粗糙度

6．1．4刀-屑摩擦系数

6．1．5切削过程

6．2刀具磨损形貌与摩损机理研究

6．2．1刀具磨损形貌

6．2．2刀具磨损机理

6．3本章小结

第七章AlCrN／AlTiSiN多层涂层刀具切削钛合金Ti6Al4V性能研究

7．1．1刀具切削力

7．1．2刀具切削温度

7．1．3工件表面粗糙度

7．1．4刀具切削稳定性

7．1．5切削过程

7．2刀具磨损形貌与摩损机理研究

7．2．1刀具磨损形貌

7．2．2刀具抗磨机理

7．3本章小结

总结

参考文献

攻读学位期间主要科研项目与发表的论文

声明

致谢