声明
第一章 绪论
1.1 选题背景与研究意义
1.2 国内外研究现状
1.3 本论文的主要工作
第二章 实验
2.1 实验样品
2.2 离子辐照与退火实验
2.3 样品表面形貌测试
2.4 样品表面化学组分的测试
第三章 离子束辐照导致InxGa1-xN表面形貌变化的研究
3.1 原生薄膜的表面形貌分析
3.2 室温Xe离子辐照导致薄膜表面形貌的变化
3.3 室温Xe离子辐照后薄膜表面形貌的高温退火效应
3.4 高温Xe离子辐照导致薄膜表面形貌的变化
3.5 离子束辐照导致薄膜表面出现凸起和凹坑的物理机制
第四章 离子束辐照导致InxGa1-xN化学组分变化的研究
4.1 原生薄膜的化学组分分析
4.2 室温Xe离子辐照导致薄膜表面化学组分的变化
4.3 高温Xe离子辐照导致薄膜表面化学组分的变化
第五章 总结与展望
5.1 总结
5.2 展望
参考文献
在学期间的研究成果
致谢
附录1