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潘峰;
厦门大学;
氧化锌薄膜; 谐振器; 微悬臂梁; 压电材料;
机译:共同开发用于三菱综合材料等MEMS器件的PZT压电薄膜的批量生产技术
机译:将MEMS器件的PZT压电膜形成时间缩短到不到三菱材料和丝网子公司的一半开发大规模生产技术
机译:用于MEMS器件的PZT压电薄膜的批量生产技术,如三菱材料
机译:声学MEMS器件的压电薄膜材料
机译:压电ZnO纳米线作为可调谐界面材料,用于光电应用
机译:压电MEMS器件中参数放大的研究。
机译:ZnO压电材料在MEMS器件中的应用研究
机译:用双材料压电mEms器件制作和优化新型太阳能电池
机译:使用MgxZn1-xO / ZnO材料和MgxZn1-xO / ZnO结构调整压电性能
机译:氧化锌(ZnO)基单晶的制造方法,ZnO基薄膜和ZnO基单晶薄膜,以及ZnO基单晶薄膜和包含该ZnO基单晶薄膜的ZnO基材料
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