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摘要
第一章 绪论
1.1 研究背景
1.2 大口径非球面光学元件超精密加工技术
1.2.1 光学元件磨削加工设备
1.2.2 光学元件磨削加工工艺
1.2.3 光学元件可控气囊抛光技术
1.2.4 大口径非球面光学元件可控气囊抛光系统
1.3 气囊抛光的关键技术
1.3.1 气囊抛光机床
1.3.2 进动抛光实现
1.3.3 气囊抛光工具的结构
1.3.4 气囊抛光工具修整技术
1.4 论文主要研究内容
第二章 离线气囊抛光工具修整装置设计
2.1 气囊抛光工具修整方案设计
2.2 修整装置机械结构设计
2.2.1 整体设计思路
2.2.2 气囊抛光工具主轴部分
2.2.3 砂轮主轴部分
2.2.4 砂轮主轴箱进给部分
2.2.5 摆动底座部分
2.3 本章小结
第三章 离线气囊抛光工具修整装置的有限元分析及优化设计
3.1 底座的有限元分析
3.1.1 底座受力分析
3.1.2 参数设置
3.1.3 分析过程
3.1.4 分析结果
3.2 底座的优化设计及验证分析
3.2.1 底座的优化设计
3.2.2 零位时底座的验证分析
3.2.3 左右极限时底座的验证分析
3.3 砂轮主轴箱的有限元分析
3.3.1 砂轮主轴箱受力分析
3.3.2 参数设置
3.3.3 分析过程
3.3.4 分析结果及优化设计
3.4 气囊主轴箱的有限元分析
3.4.1 气囊主轴箱受力分析
3.4.2 参数设置
3.4.3 分析过程
3.4.4 分析结果及优化设计
3.5 整机的有限元分析
3.5.1 零度位置时的整机分析
3.5.2 左右极限位置时的整机分析
3.5.3 分析结果及优化设计
3.6 本章小结
第四章 离线气囊抛光工具修整装置的误差分析及精度调整
4.1 修整误差概述
4.2 摆动轴线偏心误差的测量及调整
4.2.1 摆动轴线轴向偏心误差
4.2.2 摆动轴线径向偏心误差
4.3 砂轮轴线偏心误差的测量及调整
4.3.1 砂轮轴线水平偏心误差
4.3.2 砂轮轴线竖直偏心误差
4.4 砂轮轴线平行度误差的测量及调整
4.5 摆动轴线垂直度误差的测量及调整
4.6 气囊工具修整验证实验
4.7 本章小结
第五章 总结与展望
5.1 总结
5.2 展望
参考文献
致谢