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混合磨料柔性抛光工具加工蓝宝石衬底技术研究

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著录项

作者
许永超;
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作者单位

华侨大学;

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授予单位华侨大学;
学科机械工程
授予学位博士
导师姓名徐西鹏,陆静;
年度 2017
页码
总页数
原文格式 PDF
正文语种中文
中图分类刀具、磨料、磨具、夹具、模具和手工具;半导体技术;
关键词
混合磨料; 柔性抛光; 工具加工; 蓝宝石衬底;

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