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目录
1 绪 论
1.1 MEMS加速度传感器
1.2 基于声学原理的MEMS加速度传感器
1.3研究目的与研究内容
1.4 小结
2 基于声光效应的MEMS加速度传感器
2.1 声光互作用
2.2 传感器结构与工作原理
2.3 SAW在ZnO-SiO2-Si结构中的传输
2.4 传感器灵敏度分析
2.5 小结
3 基于声光效应的MEMS加速度传感器敏感元的设计
3.1 SAW谐振器的设计
3.2光波导系统设计
3.3 悬臂梁结构设计
3.4 小结
4 基于声光效应的MEMS加速度传感器敏感元芯片的加工技术
4.1工艺流程
4.2光刻掩膜版图
4.3关键加工工艺
4.4小结
5 基于声光效应的MEMS加速度传感器的测试与分析
5.1 SAW振荡电路
5.2 加速度传感器原理样机的测试
5.3 小结
6 总 结
6.1 总结
6.2 论文的创新点
6.3 有待解决的问题
6.4 后期研究工作展望
致谢
参考文献
附 录
重庆大学;