CIM in the 300mm Era

机译：300mm时代的CIM

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The Promis Systems vision is to improve Overall Factory Effectiveness (OFE) by a factor of 10 by 2010. This paper will describe how.

机译：Promise Systems的愿景是到2010年将整体工厂效率（OF E）提高10倍。本文将介绍如何做到。

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来源
《SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International) IC Seminar November 5, 1998 Taipei》|1998年|p.137-147|共11页
会议地点 Taipei(CT);Taipei(CT)
作者
Douglas Scott;
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作者单位

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类无线电电子学、电信技术;
关键词

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