リン酸を添加したフッ化水素酸中のメニスカスエッチングに基づく石英系光ファイバーのテーパー化

摘要

有機溶媒を浮かべたフッ化水素酸によるメニスカスエッチング1)は光ファイバーを円錐形状にテーパー化する最も簡便な方法として知られ，近接場光学プローブ2)やマイクロレンズへの応用が試みられてきた．しかし，有機溶媒層に生じる白濁のため，その形状再現性は十分に高くない．特に近接場光学プローブに関しては，本講演ではテーパー形状の軸対称性に関する幾何学的異常が課題である．メニスカスエッチング法の再現性を向上させるため，新たなエッチング液として，ジメチルシリコーンオイルを浮かべたフッ化水素酸とリン酸の混合液を提案する．