机译:在硅光子平台上通过光刻法制造的CMOS兼容高Q光子晶体纳米腔
机译:193 nm浸没光刻技术在300 mm SOI衬底上的高Q光子晶体纳米腔
机译:嵌入在高Q二维光子晶体纳米腔中的飞克双钳位纳米机械谐振器
机译:高Q(> 750,000)光子晶纳米覆盖物,由Chalogenere玻璃完全嵌入一个指数匹配的包层中
机译:使用高Q硅光子晶体纳米腔来控制光:光子限制,非线性和相干性。
机译:在硅光子平台上通过光刻技术制造的CMOS兼容高Q光子晶体纳米腔
机译:采用193 nm浸没式光刻技术制造的300 mm sOI衬底上的高Q光子晶体纳米腔