Department of Precision Engineering, The University of Tokyo Hongo 7-3-1, Bunkyo-ku Tokyo 113-8656 JAPAN;
optical inspection; semiconductor defects; standing wave illumination; super-resolution;
机译:驻波照度偏移对半导体缺陷进行超分辨光学检查的实验验证
机译:驻波照度偏移对半导体缺陷进行超分辨光学检查的实验验证
机译:驻波相位误差对周期性微结构超分辨光学检查的影响
机译:利用驻波照度偏移的半导体缺陷超分辨率光学检测系统的开发
机译:使用半导体光放大器进行交换和路由功能的全光波长转换在动态可重构波分复用光纤通信网络中的应用。
机译:驻波照明可实现超出瑞利极限的真正光学分辨率
机译:驻波照度偏移对半导体缺陷进行超分辨光学检查的实验验证
机译:用于内管检测系统的矢量磁力计和光波缺陷成像传感器技术。第1阶段和第2阶段可行性研究,概念设计和原型开发。最终报告,1991年3月至1993年7月