SUSS MicroOptics SA, Rouges-Terres 61, CH-2068 Hauterive, Switzerland;
SUSS MicroOptics SA, Rouges-Terres 61, CH-2068 Hauterive, Switzerland;
SUSS MicroOptics SA, Rouges-Terres 61, CH-2068 Hauterive, Switzerland;
Photolithography; mask aligner; customized illumination; optical proximity correction (OPC); source mask optimization (SMO); MO Exposure Optics~® (MOEO); advanced mask aligner lithography (AMALITH); patterned sapphire substrates (PSS); TSV; 3D-IC; wafer-level-packaging (WLP);
机译:先进的掩模对准仪光刻技术(AMALITH)用于厚光刻胶
机译:适用于3D IC和封装的高级掩模对准仪光刻
机译:微光学和光刻模拟是掩模对准器中阴影印刷光刻的关键技术
机译:高级掩模对齐器光刻(Liths)
机译:自对准掩模实现的弹道三分支纳米结。
机译:高度对准的聚合物纳米线蚀刻掩模光刻可实现石墨烯纳米孔晶体管的整合
机译:采用双面(结构化)光掩模制作硅通孔制造的优化光刻工艺,用于掩模对准器光刻