State Key Laboratories of Transducer Technology Science and Technology on Microsystem Laboratory, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, CHINA;
机译:在单晶片旋转处理器中进行新颖的氮化硅湿法蚀刻
机译:异丙醇浓度及蚀刻时间对低电阻率晶体晶片湿化学各向异性蚀刻的影响
机译:晶硅结构的晶格选择性湿法刻蚀的工艺优化
机译:基于(111)晶片的湿法蚀刻工艺的单晶硅纳米壁结构精确控制
机译:开发用于下一代,更薄,更大晶体硅(c-Si)晶圆的太阳能电池的工业制造工艺。
机译:异丙醇浓度和刻蚀时间对低电阻晶体硅晶片湿化学各向异性刻蚀的影响
机译:通过深度地下激光加工和选择性化学蚀刻切割晶体硅晶片