Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems (IPMS), Grenzstr. 28, D-01109 Dresden;
Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems (IPMS), Grenzstr. 28, D-01109 Dresden;
Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems (IPMS), Grenzstr. 28, D-01109 Dresden;
Carinthian Tech Research AG, Europastrasse 4/1, A-9524 Villach, Austria;
optical SOI-MEMS; translatory micro mirror; optical path length modulation; fourier-transform infrared spectrometers; optical vacuum packaging;
机译:微型傅里叶变换红外光谱仪中用于光程长度调制的平移记忆驱动器
机译:微电机系统傅里叶变换红外(MEMS FT-IR)调制脉冲光源激励下的光谱仪
机译:片上微电机械系统傅立叶变换红外(MEMS FT-IR)光谱仪的气体传感
机译:具有晶圆级真空封装的平移MEMS执行器,用于小型NIR傅里叶变换光谱仪
机译:引导和非引导傅立叶变换光谱系统中的MEMS电热执行器。
机译:基于MEMS的傅立叶变换光谱仪的综述
机译:具有大冲程的晶圆级真空包装的译文,适用于NIR-FT光谱仪
机译:利用高位移RaINBOW执行器设计和开发傅里叶变换光谱仪的光程差扫描机构