Cr-N薄膜ひずみゲージを用いたMEMS触覚センサの感度向上

摘要

近年、様々なモノがインターネットで相互に接続され、これらから得た情報をお互いにやり取り・集約・解析するIoTが注目されている。産業分野においてはIoTによるモノのデータ化や自動化を実現するスマート工場の導入が進められつつある。顧客の様々なニーズに応えることのできる生産システムの構築が目標とされ、それに合わせた最適な組み合わせの選択による、生産の効率化が期待できる。IoT躍進の背景にはセンサの進化が大きく影響している。モノから情報を得るにはセンサが必要不可欠であるため、目的に応じた多種多様なセンサが開発されている。