Si基板上金回折格子への背面照射によるSPR励起

摘要

味覚センサに代表される化学量センサの小型化には，多くのニーズがある．特に医療・バイオ分野の生体分子情報計測技術への手軽な測定やリアルタイムな測定へのニーズが高く，センサの小型化の実現は在宅医療の充実・病気の早期発見に貢献する．従来の化学量センサとして，表面プラズモン共鳴（SPR）センサは広く一般的に用いられている方法だが，現時点では大型で可搬性に乏しいという欠点がある．こうしたなか，SPRの信号を電気的に検出可能なものが近年報告されている[1]．従来型手法の小型化の制約であった，反射光測定に必須な光学系を除けるので，小型化の可能性が有望である．しかし，SPR励起には依然としてプリズムが使用されているので、十分な小型化は未達成である．