MIRAI, Association of Super-Advanced Electronics Technologies AIST West-7, 16-1 Onogawa, Tsukuba, 305-8569, Japan;
atomic force microscopy; sidewall measurement; tilted-tip; tilt-scanning; semiconductor surface; carbon nano tube; digital probing; AFM;
机译:原子力显微镜中使用倾斜扫描法的侧壁测量
机译:针对高纵横比结构的新原子力显微镜(AFM)成像的建议(数字探测模式AFM)m
机译:一直到数字测量的过程中的重量,秤和称重-有关计量和法律计量的国际信息
机译:在数字探测AFM中使用倾斜扫描操作的侧壁测量三维计量
机译:集成有用于微型四点探针和SECM-AFM的电极的原子力显微镜探针的制造。
机译:基于视觉计量的大型结构自动三维测量
机译:AFM与SEM / FIB集成,用于完整的3D计量测量