X線望遠鏡用大型ミラー作製のための電铸プロセスの高精度化: めっき膜形成過程の有限要素解析を通じためつき条件の最適化

摘要

電铸法とは、電気めっき技術を応用した転写技術である。マスター表面に厚さ数mm以上の厚いめっき膜を施し、めっき膜を分離することで、マスター表面の反転形状を持つ製品を得る手法である(図1)。中空形状や複雑な微細パターンなど、直接の加工が困難な構造を高精度に作製することができる。この特長から電铸法は、X線望遠鏡に搭載される口径5〜数十cm、長さ数十cmの寸法をもつ大型ミラーの高精度な作製手法として用いられてきた。