calcium compounds; plasma materials processing; CaFlt; subgt; 2lt; /subgt; fluorocarbons; fluorspar; high-temperature plasma processes;
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机译:NH
机译:CAF
机译:在感应耦合等离子体反应器中研究碳氟化合物沉积和蚀刻对硅和二氧化硅蚀刻工艺的影响(使用三氟化甲基),并开发了用于研究等离子体与表面相互作用机理的反应离子束系统。
机译:激活的淋巴细胞产生的INF-γ诱导人羊膜来源的间质基质/干细胞的免疫调节特性并通过细胞间接触和可溶性因子介导。
机译:HfO