EUV; Pellicle; Deformation; Stress;
机译:独立式防护膜的机械偏转,用于极端紫外光刻
机译:弹性波在极端外力的作用下在晶体的声轴附近传播:II。电场中的中心对称晶体;三,机械应力下的晶体
机译:使用LifeCycle模型和应力增强效应识别机械系统中的外力
机译:外力作用于极紫外防护膜中的机械应力
机译:碳化硅增强氧化铝纳米复合材料的机械性能:机加工引起的表面残余应力和裂纹愈合行为。
机译:极低频电磁生物反应器内部的场模型和数值剂量:电磁感应机械力与细胞张力生物学机制之间的理论联系
机译:极低频电磁生物反应器内部的场模型和数值剂量学:电磁感应机械力与细胞张力生物学机制之间的理论联系
机译:使用电荷感应电压改变定位薄膜诱导的开路触点。