Encapsulated MEMS sensors; Batch technology; 3D hybridization; Q-factor;
机译:Combo IC集成了数字加速度计,模拟陀螺仪
机译:陆地导航系统中陀螺仪和加速度计偏差的简单观测器
机译:基于MEMS的系统解决方案:高性能加速度计和陀螺仪
机译:用于数字控制系统的增强型微机械陀螺仪和加速器
机译:基于加速度计的无陀螺导航系统的设计。
机译:用于高Q微机电系统加速度计的高性能数字接口电路
机译:陆地导航系统中陀螺仪和加速度计偏差的简单观测器
机译:航天器控制中的高级陀螺仪。干式调谐陀螺仪的数字捕获循环