テラヘルツ反射波を用いたエポキシ樹脂内のボイドサイズ評価の数値解析的検討

摘要

筆者らは，簡便な樹脂内部の検査方法の確立を目指し，テラヘルツ（THz）波（約0.1～10 THz の電磁波）を用いた非破壊検査技術の開発を進めている。前報(3)では，数値解析シミュレーションを用いて，樹脂内の欠陥を模擬した基礎モデルにおけるTHz 波による透過・反射の応答の違いを分析し，欠陥種の判別への有用性を検討した。そこで本報では，前報の検討結果を踏まえて，樹脂中のボイド（空隙）欠陥の厚みを推定すべく，THz 波の反射波を分析した結果を報告する。