原子間力顕微鏡・光導波路型表面プラズモン共鳴複合法による薄膜構造評価

摘要

膜厚・誘電率評価法として表面プラズモン共鳴（SPR）が、薄膜の表面ナノ構造観測法として原子間力顕微鏡（AFM）が、それぞれよく知られている。これらはいずれも高感度であるが、それぞれを単独で用いた場合、明らかにならないことも多い。そこで本研究では、SPR 法とAFM の両方を複合同時測定できるシステムの構築を行うことを目的とした。このシステムによれば、SPR とAFM の測定結果を補い合うことにより、詳細な薄膜評価が可能になると期待される。今回、構築したシステムによる同時測定も試みた。