水晶振動子微量天秤·導波路型表面プラズモン共鳴複合法による薄膜堆積評価と蒸気センシング

摘要

本研究のセンサでは同一基板上において同じ測定箇所における現象を観測するため、検知対象物の堆積や吸着に対するQCM·SPR応答を高い信頼性のもとで同時測定できると期待される。またこのような同時測定法は、QCMのみでは行えなかった様々なセンシングや薄膜評価を可能にするものと考えられ、特に分子配列や凝集状態など薄膜構造により誘電率が変化する場合などにおいて有用と期待される。本研究では、このセンサの動作について詳しく調べるため、誘電率の異なるポリマーのスピンコート薄膜の堆積の様子を調べるとともに、これをセンサ材料として種々蒸気の吸着の様子を観測した。