表面プラズモン共鳴 ·光導波路分光複合センサによる銅フタロシアニン交互吸着膜の堆積評価

摘要

近年、有機太陽電池や有機 EL などの有機薄膜を用いた有機デバイスが注目されており、高性能なデバイス作製のために有機薄膜の構造·光学物性·膜厚などを作製過程で高精度に測定する必要性が増している。我々は以前に、光導波路分光センサ上で表面プラズモン（SP）共鳴を用いることで、薄膜の光吸収と膜厚を同時に測定する手法を提案した。このセンサはエバネッセント波を用いているため、着色した溶液中においても堆録した薄膜の光特性の測定が可能である。また、SP と光導波路分光の組み合わせにより、それぞれの手法のみの場合よりも詳細な堆積評価が可能であると考えられる。今回は、銅フタロシアニン誘導体（Alcian Blue，AB）の交互吸着膜堆積において透明ポリマーPoly（diallyldimethylammonium Chloride）（PDADMAC）を混合してそれぞれの吸着量評価を行い、センサの有用性について検討したので報告する。