ニューラルネットワーク用強誘電体薄膜の誘電特性評価

摘要

ニューロモーフィックシステムは、ニューロンとシナプスの要素を実装するハードウェアレベルの生体模擬システムであり、低消費電力、小サイズなどの人間の脳と同じ利点がある.本研究では、強誘電体薄膜である(Bi，La)_4Ti_3O_(12)(BLT)とPb(Zr,Ti)O_3(PZT)を用いて、上部電極が下部電極に対して直行になる構造をしたキャパシタ型のシナプスを作製した.デバイス評価として電気的特性を測定し、シナプスとしての有用性を確認することができた.キャパシタ型のシナプスを用いて文字補正学習を行い、学習段階で入力したパターンと最終的な出力パターンが一致したことより、学習に成功したことを示す.