液体金属を用いたショットキーバリヤダイオード作製実験の実施

摘要

半導体工学教育の一環として，半導体デバイスの作製実験が大学および高専で実施されているが，その数は多くない．デバイスの作製に複数の製造装置と多くの作製時間を要することが，実験の導入を困難にしていると考えられる．そこで我々は，特別な製造装置を使用せず，かつ短時間で作製できる半導体デバイスの実現を目指し，現在は液体金属を用いたショットキーバリヤダイオードの実験用教材を開発している．今回は，開発した実験教材を舞鶴高専の専攻科特別実験におけるショットキーバリヤダイオードの作製実験に適用し，実験実施前後に半導体の理解度に関するアンケートを実施したので，その結果を報告する．