実験が大好きなだけのかけだしが世界で最初の量産用Al エッチング装置をつくってしまった話と、その後の静電チャックの開発について

摘要

半導体製造装置産業は⼤きく成⻑し、⽶中の覇権争いの舞台となるほど重要になっている。しかし、1970年代から80 年代半ば頃までは、半導体メーカーがプロセスのみならず製造装置も社内で開発していた1)。本講演では、今まで公表されることが少なかったこの時期の装置技術開発について、筆者の個⼈的視点から成功と失敗の経験をお話ししたい。