Optical phased array; wavelength scanning; silicon nitride;
机译:在III型氮化物和硅CMOS工艺集成平台中设计的超低功耗,支持LED的片上光通信
机译:与光相控阵的氮化硅共同集成硅光子
机译:低温退火的硅光子学富硅氧化物和富硅氮化物材料的非线性光学性质
机译:CMOS兼容的集成氮化硅光学相控阵,用于电可调片外激光束转向
机译:硅锗化物/ CMOS毫米波集成电路和相控阵系统的晶圆级封装
机译:集成在薄膜平台上的全等离子体相控阵列
机译:向后发射氮化硅光相控阵实现有效的波长调谐光束转向
机译:等离子沉积氮化硅钝化对CmOs集成电路辐射硬度的影响