中気圧プラズマにおける窒素原子密度のレーザー分光計測

摘要

本研究では中気圧プラズマにおけるラジカル挙動の解明を目的とし、30～100 kPaのパルスバリア放電におけるストリーマ径の圧力依存性と、放電ギャップ中心部のN原子密度の時間変化を計測した。測定の結果、30kPa以上の圧力範囲において、圧力が低いほどストリーマ径及びN原子密度は大きくなることが分かった。N原子密度减衰過程からN原子絶対密度を推定した結果、30kPaにおいて大気圧下の約3倍のN原子を得られることが分かった。