電子デバイスの非破壊精密検査を目的とした多軸X線CTの開発

摘要

X線CT装置は，被写体の周囲方向からX線を照射し，集めた投影データを計算機上で処理することで，被写体の断層像を再構成する装置である．非破壊で被写体の内部を観察可能にした本技術は，医療·産業分野において，診断·検査に欠かせない技術となっている．しかし，動脈癌の破裂を防ぐため脳にクリップが埋め込まれた患者や，主に金属で構成された携帯電話などを撮影するとき，金属部分からメタルアーチファクトと呼ばれる放射状のノイズが発生する．特に，金属を多く含む電子デバイスからは激しいメタルアーチファクトが発生し，検査は困難である．メタルアーチファクト発生の例として，携帯電話を撮影したものをFig.1（a）に，電子基板を撮影したものをFig.1（b）に示す．