シャント型MEMSスイッチを搭載した準ミリ波帯MEMS移相器の開発

摘要

近年、通信システムの情報量の増大化に伴って無線システムの高周波化が急速に進hでいる。しかし、電磁波は高周波化するに従って減衰が増大することから、ビーム状にして電磁波の送受信を行うことが必要となる。また、衝突事故防止レーダ等の応用において広い空間を検出するのに電磁波ビームを角度走査することが必要となることから、今日、指向性ビームを電子的に操作できるフェイズドアレイアンテナ（Phased-array antenna：PAA）（図1）が注目されるようになった。