プラズマ重合法による有機EL 素子用アントラセン高分子薄膜の作製と評価

摘要

有機EL 素子(OLED)は自己発光素子であり，携帯電話，テレビジョンなどのディスプレー素子として実用化されている。また，自己発光性と面発光が可能であることから照明機器への利用も考えられている。OLED の一般的な作製方法として，有機材料を真空蒸着する方法と有機溶剤に溶解させてスピンコーティング等により塗布する方法がある。いずれの方法も薄膜中のピンホールを無くすことは困難である。本研究では原理的にピンホールが生成されないプラズマを用いた有機モノマガスの重合 (放電重合) により高分子薄膜を基板上に成膜し，OLED を作製することを目的としている。放電重合では，キャリア輸送に必要な伝導路，特に2 重結合がプラズマのエネルギーにより破壊されることが多い，発光強度が弱い，発光電圧が高い等の欠点があった。この欠点は有機モノマとしてアントラセンを用いることで抑えられることがわかっている。本研究では，さらなる低電圧発光を目的とし，正孔輸送層をアントラセン重合膜上に成膜した二層型素子を作製し，その特性を評価したので報告する.