低周波パラメトリック超音波による厚さ測定法の検討

摘要

我々は低周波超音波応用計測?イメージングの実現ため，パルス圧縮技術を適用し，距離分解能とエコーレベルを改善したパラメトリック超音波法の検討を行ってきた[1{6]．パラメトリック超音波のパルス圧縮のための変調信号として，チャープ変調[1{4] やM系列符号化[5, 6] の検討を試みた結果，パルス圧縮技術が非線形音響現象に起因するパラメトリック超音波にも有効であること，さらに高次M系列符号化の適用が圧縮後のタイムサイドローブを大きく改善することを示してきた．本報告では提案法を用い，低周波超音波による板材の厚みおよび吸収減衰の計測を試みた結果を述べる．