基本モード/高次モード切替可能な 常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT 分極反転エピ膜共振子

摘要

国際ローミングによる移動体通信機器のフ ィルタ搭載数増加を抑えるために, 周波数ス イッチナブルフィルタは1 つの解決策である. 我々は, PZT/PbTiO3(PT)エピ膜の抗電界差を用 いた周波数スイッチナブル共振子を報告して いる[1]. しかしPT 層上にPZT 層をエピ成長さ せることはできたが, PZT 層上にPT 層を成膜 した際には多結晶化する現象が見られた. 原 因は, PZTはPTよりもキュリー点が低く, それ ぞれの成膜温度はキュリー点付近であるため, PT を成膜中にPZT が相転移することにある.