IoT時代のプラズマ微細加工技術

摘要

2021年には、ネットワーク接続機器は300億を超え、通信量は3.3ZBになると言われている[1]。 より多くのデータ処理には高速性とメモリの大容量化が必要であり、同時に低消費電力化が求め られる。そのため、ロジックULSIでは微細化に加え、スイッチング特性改善のため、新材料の 導入や立体的なFinFET構造が導入され、さらにナノワイア構造の検討が進められている。