異なる偏光を持つフェムト秒レーザーパルス対照射により誘起される ジルコニァセラミックス表面の周期構造

摘要

レーザーを固体表面に複数ショット 照射するとレーザー誘起周期的表面構造 (Laser-Induced Periodic Surface Structure: LIPSS)が 形成されるが、誘電体材料では照射条件に依存す ることが報告されている[1]。イットリア安定ィ匕 正方晶ジルコニァ多結晶体(3mol% Y2O3添加 ZrO2 ： 3Y-TZP)は優れた機械的特性を有するセラ ミックスであり医療部材ゃ機械部材に用いられ る。3Y-TZPに形成されるLIPSSは、偏光に平行 で周期Aが波長え（343, 515, 810, 1030 nm)よりわ ずかに大きかった[2]。これまでLIPSS形成機構 解明を目的とし、直交する偏光を持つ強度比1:1 のパルス対照射の結果を報告し、時間的にパルス が重ならない遅延においては先行するパルスの 偏光に平行なLIPSSが形成されることを報告し た[3]。今回、照射フルエンスを変化した場合と、 逆回り円偏光パルス対を照射した結果hついて 報告する。