周期構造医療デバイス作製のための全固体深紫外コヒレント光源による二光束干渉露光技術

摘要

FBGセンサなどの周期構造デバイスが，血圧，脈拍数，血糖値などのバイタルサイン計測に注目を集めている。同構造は従来ェキシマレーザーなどで作製されてきたが，エキシマレーザーから全固体深紫外コヒレント光源に置き換えることができれば，医療デバイス作製の安全性が一段と高まる。本研究では，可干渉性の高い深紫外コヒレント光による二光束干渉露光で周期構造デバイスの作製の可能性を採る。先ずは，主光源である深紫外コヒレント光源のコヒレンス制御について議論する。