微細パターン構造のうねり座屈解析におけるFoppl-von Karman板理論の検証

摘要

本研究では，真性応力によって誘起される微細パターン材の横うねり座屈に対する数理モデルの適用範囲を連続体力学の視点から議論する．数理モデルには，Foppl-von Karman（FvK）の基礎方程式を用いているが，その際の薄板近似によって，非常に薄いマスク層の場合においては必ずしも高精度な解にはならないことをFEMの解析結果から指摘する．さらに解析では，エッチング完了時の最終形状モデル（Model 1）とエッチングプロセスを考慮した解析モデル（Model 2）に対して座屈固有値解析を行い，うねり座屈におけるエッチングプロセスの影響を検討する．